wiadomości o firmie Jaka jest charakterystyka modułowych pomieszczeń czystych w fabrykach półprzewodników?

Modułowe pomieszczenia czyste są zaprojektowane w oparciu o logikę "bloku budowlanego", umożliwiającą fabrykom półprzewodników dostosowanie układu przestrzeni zgodnie ze specyficznymi wymaganiami procesu.

Na przykład obszary do fotolitografii, grawerowania i pakowania mogą być niezależnie konfigurowane z różnymi poziomami czystości (od ISO 1 do ISO 9).

Ta elastyczność eliminuje konieczność przeprowadzenia wielkoskalowej rekonstrukcji przy modernizacji linii produkcyjnych, znacząco zmniejszając czas przestojów.

Płyty modułowe, zwykle wykonane z stopów aluminium lub stali ocynkowanej, mogą być szybko montowane i demontowane,wspieranie szybkiego rozbudowy lub dostosowania obszarów pomieszczeń czystego w miarę zmiany skali produkcji.

Każda modułowa jednostka czystych pomieszczeń jest zaprojektowana z zintegrowanymi systemami uszczelniającymi, w tym uszczelniającymi zębami i różnicami ciśnienia, aby zapobiec zanieczyszczeniu krzyżowemu między strefami.

Systemy HVAC są również modułowe, z dedykowanymi jednostkami obsługi powietrza (AHU) dla każdej sekcji, zapewniając precyzyjną kontrolę temperatury (± 0,5 ° C), wilgotności (± 2%) i liczby cząstek.

Filtry powietrza o wysokiej wydajności (HEPA) lub ultra niskiej penetracji powietrza (ULPA) są wbudowane w płyty sufitowe i ścienne,zapewnienie jednokierunkowego laminarnego przepływu powietrza, który minimalizuje akumulację cząstek na płytkach.

Dodatkowo modułowe pomieszczenia czyste posiadają zintegrowane systemy kanalizacji podłogowej i gospodarowania odpadami, które zawierają materiały niebezpieczne w określonych strefach, aby uniknąć rozprzestrzeniania się zanieczyszczeń.