W procesie produkcji elektronicznych chipów wymagania dotyczące czystości w różnych obszarach produkcji są różne,głównie oparte na normie ISO 14644-1 i potrzebach precyzyjnych procesu produkcyjnego w celu określeniaOto konkretne wymagania:
Obszar litograficzny:Najwyższe wymagania dotyczące czystości, zwykle ISO 1-3, wymagają kontroli cząstek 0,1 mikrona i powyżej.drobne cząstki mogą powodować wady w wzorze fotolitografii, wpływające na wydajność chipa.
Obszary etyrowania i osadzania:wysokie wymagania czystości, na ogół ISO 3-5, muszą kontrolować cząstki o wielkości 0,3 mikrona i większej.
Obszar opakowania:Wymagania dotyczące średniej czystości, zwykle ISO 5-7, wymagają kontroli cząstek o wielkości 0,5 mikrona i większej.
Obszar badania:Wymagania dotyczące czystości są niskie, zazwyczaj ISO 7-8, należy kontrolować cząstki 0,5 mikrona i powyżej.
Obszar składowania chemikaliów:Wymagania dotyczące czystości są niskie, zazwyczaj ISO 7-8.
Obszar utrzymania urządzeń:minimalne wymagania w zakresie czystości, na ogół na poziomie ISO 8.
Komory przebieralne i prysznice powietrzne:Wymagania dotyczące czystości są średnie, zazwyczaj ISO 5-7.
Obszar dostępu do materiałów:wymagania w zakresie czystości są niskie, na ogół na poziomie ISO 7-8.
Środki utrzymania czystości
System oczyszczania powietrza:Wyposażone w filtr o wysokiej wydajności (HEPA) i filtr o bardzo wysokiej wydajności (ULPA) w celu zapewnienia czystości powietrza.
Organizacja przepływu powietrza:Pionowy przepływ jednokierunkowy jest zwykle stosowany w regionie litografii, a niejednokręczny przepływ może być stosowany w innych regionach.
Wymagania dotyczące kontroli temperatury i wilgotności:Zazwyczaj temperatura jest kontrolowana w temperaturze 22 °C ±2 °C, a wilgotność w temperaturze 45%-65% RH.
Pozytywna regulacja ciśnienia:Należy utrzymać różnicę ciśnienia dodatniego w zakresie 5-10 Pa między obszarem czystym a obszarem nieczystym.
Podsumowując, wymagania w zakresie czystości w produkcji układów elektronicznych różnią się w zależności od procesu i regionu, obszary litografii i grafowania mają wysokie wymagania w zakresie czystości,natomiast obszary pakowania i badań są stosunkowo niskieTe rygorystyczne standardy czystości są kluczem do zapewnienia jakości produkcji chipów.
Osoba kontaktowa: Mrs. Zhao
Tel: 86 20 13378693703
Faks: 86-20-31213735